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产品展示

蓝宝石基片CMP抛光液

名称:蓝宝石基片CMP抛光液
详细信息 :

型号

pH

比重

粘度

25℃,mPa.s

磨料粒径(nm

氧化钠含量(%

磨料浓度(%)

外观

UPP/SAS03-08

10.5~12.0

1.250~1.285

10

100120

0.3

38±2

乳白

UPP/SAS03-09

10.5~12.0

1.250~1.285

10

100120

0.3

38±2

乳白

UPP/SAS03-13

10.2~11.8

1.250~1.285

10

100120

0.3

38±2

乳白

     

    UPP/SAS03系列蓝宝石基片CMP浆料用特选的SiO2水溶胶作为磨料,通过大粒径硅溶胶的研磨作用和辅助试剂的化学作用,增加抛光移除率;通过络合剂增强浆料的平整化作用,改进浆料的流体力学性能,实现高洁净、低粗糙的加工效果。








蓝宝石衬底CMP抛光液
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