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产品展示

硅片CMP抛光液

名称:硅片CMP抛光液
详细信息 :

产品名称

pH

磨料浓度(%

比重

粒径(nm

粘度

25℃ mPa.s

氧化钠含量(%

外观

UPP/SS010

10.012.0

38±2

1.2501.285

60~90

<10

0.3

乳白

UPP/SS015

10.012.0

38±2

1.2501.285

60~90

<10

0.3

乳白

UPP/SS065

10.012.0

38±2

1.2501.285

60~90

<10

0.3

乳白

UPP/SS165

10.012.0

38±2

1.2501.285

100~120

<10

0.3

乳白

UPP/SS070

10.012.0

38±2

1.2501.285

60~90

<10

0.3

乳白

UPP/SS010、UPP/SS015、UPP/SS065、UPP/SS165、 UPP/SS070型硅材料CMP浆料采用SiO2水溶胶作为磨料,具有金属杂质沾污极少、易清洗、抛光速率高、损伤层小、平整度高等特点。在抛光工艺中根据需要可以优化不同配比,均能达到使用效果。与同类产品相比,该类产品具有浓缩度高、磨料粒径均匀、表面张力小、易清洗、抛光速率高、高温不出现非均化?#32431;?#31561;优点。






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